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Logosol预对准器

Logosol晶圆处理平台涵盖了各种产品和服务,源自于超过30年的半导体自动化经验。该技术涵盖了硬件、软件和机械设计,以及制造、集成和应用工程。该公司设计的晶圆处理机器人预对准器涉及需要在半导体晶圆厂进行传统产品的即插即用替换以及OEM制造商新开发的资本设备中的自动化物料处理应用。这些产品线采用Logosol完全拥有和控制的技术,包括运动控制电子设备、晶圆处理固件、软件工具、实用程序和机械设计。整个技术范围的可用性允许极高水平的无缝集成、可制造性、可靠性和成本效益。

Logosol拥有长期的历史,将其专有的晶圆处理自动化技术授权给各种实体。这些产品包括各种尺寸和臂配置的机器人,作为灵活模块化自动化平台的一部分。授权方受益于公司在半导体自动化领域的丰富专业知识、成熟的产品和解决方案,以及30多年的经验。我们公司提供全面且高度可定制的统一技术,涵盖项目的各个方面,从机械设计到运动控制电子设备、固件、软件工具和实用程序。无论您需要简单还是复杂的解决方案,我们都可以定制我们的技术以满足您的特定要求。您将完全控制您的项目,而无需依赖第三方附加组件。我们的技术设计灵活、可扩展且可靠,确保高性能和质量标准。公司不仅提供制造许可和文档,还提供机器人控制器、电源供应器和构建整个产品所需的特定电子模块。此外,Logosol提供最全面的晶圆预对准器系列,与所有授权的晶圆处理机器人无缝集成。

IWH Series 1 with 3-Link-HD-Arm and Standard-Body

机器人控制器

LRC-x31g3是三轴、四轴和五轴机器人控制器,配有集成的CPU板和功率放大器,专为需要精确控制旋转或线性无刷电机的应用而设计。它们可以用作内置或外部控制器。LRC-x31g3通过主机RS-232或10/100 Base-T以太网接口进行控制。可以使用Logosol分布式控制网络扩展接口无缝连接其他外部设备。LRC-x31g3配备了各种安全功能,如输出和电机短路保护、欠压关闭和编码器存在控制,智能停止功能可避免在机器外部停止或断电时机器人臂下降。支持非常高分辨率编码器的先进运动控制技术实现了优越的多轴轨迹生成。硬件辅助位置锁定增强了在动态情况下进行晶圆对准时的精度。

运动控制软件包:

MCL5是Logosol专有的第五代运动控制软件包,提供领域特定的编程语言和多任务实时解释器。这是一个专门用于设计机器人控制应用的编程框架。MCL5可执行文件包括运动控制器和I/O模块的集成,各种机器人运动学的实现,支持复杂轨迹运动,以及对系统完整性的监控。该可执行文件还包括一个实时多任务脚本解释器。它允许设计特定应用程序的脚本,用于协调机器人运动的顺序并实现自定义主机通信协议。脚本语言由一组保留字定义,并具有类似于C编程语言的表达式语法。

 


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