Logosol晶圆预对准器角度定向设备LPA38-1E方形基板适用
创新、高性能、一体化设计实现了简化操作、节省空间的效果外部控制器及连接电缆，同时保持其完好无损即插即用兼容性
由超低惯性无刷电机驱动，运行平稳、响应迅速反应
先进的扫描电子设备能够检测透明物体。半透明和不透明的物体(但不含机械部件)不同晶圆尺寸之间的重新定位
具有全面功能的一套通用运动控制软件已使用的命令可实现兼容性以及与..的接口连接。多种半导体平台
典型的对齐周期时间不到四秒，这有利于实现系统最大吞吐量
Logosol晶圆预对准器角度定向设备LPA38-1E方形基板适用
