Logosol LPA系列晶圆预对准器处理12英寸-18英寸晶圆高精度对准
独立式12-18英寸晶圆处理
用于对 45 毫米 – 480 毫米物体（包括方形和双层基板）进行高精度对准的自主设备，具有无需机械重新定位的单单元处理多种尺寸物体、卡盘负载和销钉负载模式以及高精度选项。
创新、高性能、兼容1类标准
独特的集成式设计省去了外部控制器和连接线，同时仍保持可即插即用的兼容性。
包含扫描电子设备、运动控制器以及电源供应装置，其尺寸符合行业标准规格。
由超低惯性无刷电机驱动，实现平稳、即时的响应效果
先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明的物体，且无需在不同尺寸之间进行机械重新定位。
与晶圆搬运机器人实现无缝对接，能够处理从45 毫米到 480毫米的各种晶圆尺寸，以及相应尺寸的方形基板。
Logosol控制软件集成了全面的一系列指令，能够实现与多种半导体平台的兼容性及接口连接。
快速的对齐周期时间有助于实现系统的最大吞吐量。
既可以作为独立设备使用，也可以作为与晶圆搬运机器人协同工作的嵌入式设备使用。
保留方式包括真空式、非真空式以及边缘处理方式。
Logosol LPA系列晶圆预对准器处理12英寸-18英寸晶圆高精度对准
