Logosol晶圆预对准器LPA12FS-3晶圆直径300mm
创新、高性能、一体化设计摒弃了外部控制器和连接线缆，同时仍保持可即插即用的兼容性。基于专有设计的快速更换功能，该功能允许在引脚水平以下进行晶圆夹具的安装操作。
先进的扫描电子设备，能够检测透明、半透明和不透明的物体，且无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。
具有全面常用指令集的运动控制软件，能够实现与多种半导体平台的兼容性及接口连接。
典型的对齐周期时间不到五秒，这有助于实现系统的最大吞吐量。
Logosol晶圆预对准器LPA12FS-3晶圆直径300mm尺寸图
Logosol 久经考验的技术和高标准的可靠性是业内最广泛的预对准器系列的基础。预对准器产品系列支持处理 45 毫米至 480 毫米的物体，具有从不透明到完全透明的任何透明度级别。Logosol 独特的一体化设计和多功能控制软件可实现直接兼容性并与各种半导体平台进行接口。
