美国Logosol LPA38-1E 嵌入式预对准器 LPA38-1E-V40P1-S29-S
用于高速晶圆传输系统的经济型中心计算和角度定向设备，具有对 45 毫米 – 480 毫米物体的对准能力，可与任何市售机器人轻松集成。提供高精度和卡盘尺寸/材料选项。
创新、高性能、全合一设计，无需外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用兼容性
由超低惯性无刷电机驱动，实现平滑、即时响应
先进的扫描电子学，能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位的情况下检测透明、半透明和不透明的物体
运动控制软件，具有一套全面的常用命令，可实现与各种半导体平台的兼容性和接口
典型的对齐周期时间不到四秒，有助于实现最大系统吞吐量
