进口LOGOSOL LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P-CT06 巡边台
LOGOSOL LPA312-3 创新、高性能、一体式设计，消除了外部控制器和互连电缆，同时保持了嵌入式兼容性 由超低惯性无刷电机驱动，实现平稳、即时响应 先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位 运动控制软件具有一整套常用命令，可与各种半导体平台兼容和连接 典型的对准周期时间小于四秒，有助于实现最大系统吞吐量。
LOGOSOL预对准器是美国Logosol公司生产的专业晶圆预对准设备，主要服务于半导体、电子、光伏等精密制造领域
LOGOSOL LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P-CT06 巡边台规格：
