LPA812EH-3边缘处理预对准器
创新的自主设备具有零夹持力的被动边缘接触，是 Logosol 的边缘抓取预对准器技术的替代方案，可确保无晶圆应力和最大清洁度，以处理 75 毫米 – 300 毫米的物体。标准和高精度型号。
适用于两种晶圆尺寸的边缘处理预对齐器，边缘接触区域小于1毫米，并有3种不同的引脚配置。
C(交叉)型配置:能为晶圆提供最均匀的支撑，并且从三个方向都能实现完全的接触。
X型配置:可为超过6英寸宽的末端执行器提供空间，并且从两侧均可方便地接近。
Y型配置:与晶圆的物理接触面积最小(仅在转盘和引脚上设有3个接触点)，且从两个方向都能实现完全接触。
接口入口:侧面(可选底部)
LOGOSOL LPA812EH-3 边缘处理预对准器零夹持力
