美国Logosol LPA812EH-3 边缘处理预对准仪 寻边台LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V
创新的自主设备，采用零抓取力的无源边缘接触，这是 Logosol 边缘抓取预对准技术的替代方案，可确保无晶圆应力和最大的清洁度，用于处理 75 毫米 – 300 毫米的物体。标准和高精度型号。
边缘处理预对准器适用于两种晶圆尺寸，边缘接触区减小至1mm以下，具有3种不同的引脚配置。
C(交叉)配置:为晶圆提供最均匀的支撑，并从三个方向提供平等接触。
X配置:为超过6英寸宽的末端执行器提供空间，并从两侧提供平等访问
Y配置:提供与芯片最小的身体接触(仅在夹头和针脚上有3个点)和从两侧平等访问
接口入口:侧面(可选底部)
