美国Logosol Diamond H5晶圆处理平台
Logosol Diamond H5晶圆处理平台H5系列真空机器人代表了一个重要的晶圆设计与可靠性的工程进展搬运设备。得益于技术先进的组件机器人利用超低惯性、高响应无刷伺服电机与零间隙Harmonic Drive®耦合齿轮，大大提高了灵巧性和精度。创新的一体式设计融入了运动控制器、伺服放大器和电源机器人的行业标准足迹。高强度结构件可安装在以下任一位置法兰的顶面或底面，不影响系统刚性。可联网RS-485和以太网接口互补标准RS-232和示教器连接。强大的原生晶圆处理和脚本语言促进嵌入式软件的快速开发将机器人引入OEM应用环境。传统机器人“宏”命令的综合仿真兼容性下降。
Logosol Diamond H5晶圆处理平台特征：
模块化和高度可定制的设计
完全集成的运动控制器、伺服放大器和电源
高响应无刷电机和精确的零间隙
Harmonic Drive®齿轮主机的标准RS-232接口和以太网（Telnet）接口
先进的32位实时运动控制内核
强大的晶圆处理固件
全面的软件工具和实用程序
传统机器人宏命令的软件仿真
可选示教器终端
用于定制用途的通用数字输入和输出可靠性——MTBF>60000小时
Logosol Diamond H5晶圆处理平台规格：
