晶圆预对准器
Logosol 久经考验的技术和高标准的可靠性是业内最广泛的预对准器系列的基础。Prealigners 产品系列支持处理 45 毫米至 480 毫米的物体，具有从不透明到完全透明的任何透明度级别。Logosol 独特的一体化设计和多功能控制软件实现了与各种半导体平台的直接兼容性和接口。
自主设备，用于对45毫米至480毫米的对象进行高精度对准，包括正方形和双层基板，具有单元处理多种尺寸对象而无需机械重新定位、夹具负载和销负载模式以及高精度选项。
用于高速晶圆传输系统的成本效益的中心计算和角度定位设备，具有45毫米至480毫米对象的对准能力，并可轻松与市场上可用的任何机器人进行集成。提供高精度和夹具尺寸/材料选项。
