美国logosol独立式晶圆预对准器LPA812-3-V76P2-S23-B-V500P
独立式 用于45mm至480mm物体高精度对准的自主设备,包括方形和双层基板,具有单装置处理多种尺寸物体的功能,无需机械重新定位,提供卡盘加载和销加载模式,并有高精度选项。
Logosol, Inc. 是一家精密运动自动化设计公司,开发和制造最先进的运动控制组件和系统用于工业自动化。Logosol 专注于设计和开发具有高度集成、卓越可靠性和性能、软件复杂性和无与伦比的多功能性的完整解决方案。 该公司于1991年在德国成立,由多家公司和人士共同创立。其主要目标是通过将运动控制的所有主要功能模块集成到标准尺寸的印刷电路板上,创建一个高度可靠且成本效益高的运动控制解决方案,并且占用空间小。
1993年,公司在加利福尼亚州阳光谷建立了运营中心,以便更好地服务美国市场,特别是硅谷的半导体资本设备制造商。从那时起,Logosol的经验证明了的技术已被客户认为是技术上的突破。 Logosol经久考验的技术和高可靠性的标准是其产品线最广泛预对准器的基础。Prealigners产品家族支持处理45mm至480mm范围内的物体,透明度从不透明到完全透明均可。Logosol独特的集成设计和多功能控制软件使其能够与各种半导体平台实现即插即用的兼容性和接口
晶圆预对准器是半导体制造中用于在工艺开始前对晶圆进行快速、精确对准的装置,通过利用晶圆上的缺口(notch)将晶圆调整至预设位置,以确保晶圆的位置及方向,方便后续工艺的进行。主要集成在涂胶机、光刻机、薄膜沉积设备等大型生产系统中。
核心功能: ① 晶圆中心对准:确保晶圆中心与设备主轴对齐,保障工艺均匀性。
② 晶向对准:通过检测晶圆缺口或平边,确保晶向正确,避免加工偏差。
③ 快速定位:在高速生产线上实现即时响应,缩短对准时间,提升系统吞吐量。
简单来说,预对准器就像一个“标准化员”,它把杂乱无章的晶圆统一调整为“中心对齐、缺口朝零”的标准姿态,为高精度加工打下基础。
Logosol, Inc.预对准器规格:

