美国 Logosol 嵌入式晶圆预对准器 LPA38-3-V40E2-S23-S-V500P

美国 Logosol 嵌入式晶圆预对准器 LPA38-3-V40E2-S23-S-V500P

美国 Logosol LPA38-3-V40E2-S23-S-V500P 晶圆预对准器

用于高速晶圆传输系统的经济型中心计算和角度定向设备，具有对 45 毫米 – 480 毫米物体的对准能力，可与任何市售机器人轻松集成。提供高精度和卡盘尺寸/材料选项。

创新、高性能、一体式设计消除了外部控制器和互连电缆，同时保持了插入兼容性
由超低惯量无刷电机驱动，响应顺畅、即时
先进的扫描电子器件，能够检测透明、半透明和不透明的物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位
运动控制软件，具有一套全面的常用命令，可实现与各种半导体平台的兼容性和接口
小于4秒的典型对齐周期时间有助于实现最大的系统吞吐量

480毫米的对象，具有任何透明度水平，从不透明到完全透明。Logosol独特的一体化设计和多功能控制软件使其能够与各种半导体平台实现即插即用的兼容性和接口。