代理美国Logosol LPA812-1E-V76P1-S23-S Prealigners寻边台

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LOGOSOL LPA SERIES PREALIGNERS产品选型:

LOGOSOL主要产品系列及型号

LOGOSOL预对准器按应用场景分为三大系列:

1.LOGOSOL 边缘处理系列(Edge-Grip)

  • 技术特点

    • 被动边缘接触技术,零机械应力,避免晶圆损伤。

    • 支持透明度从不透明到全透明的晶圆1

  • 适用尺寸:75mm–300mm晶圆。

  • 典型型号
    LPA6EH-3LPA8EH-3LPA68EH-3LPA8ET-3LPA12ET-3LPA812EH-3

  • 应用场景:碳化硅/氮化镓晶圆制造、高洁净度要求的化合物半导体生产线。

2. LOGOSOL独立式系列(Standalone)

  • 技术特点

    • 单机处理方形、双层基板及圆形晶圆,支持45mm–480mm超大尺寸范围。

    • 无需机械重定位,通过软件切换尺寸,提升柔性生产效率。

  • LOGOSOL典型型号
    LPA26-3LPA38-3LPA58-3LPA312-3LPA812-3LPA1218-3

  • 应用场景:研发实验室、多尺寸晶圆试产线、光伏基板定位。

3. LOGOSOL嵌入式系列(Embedded)

  • 技术特点

    • 专为高速晶圆传输系统优化,低成本集成中心计算与角度定位功能。

    • 提供高精度选件及定制夹具尺寸,兼容主流工业机器人。

  • LOGOSOL典型型号
    LPA25-1ELPA38-1ELPA58-1ELPA312-1ELPA812-1ELPA1218-1E

  • 应用场景:半导体量测设备(如日立CD-SEM)、自动化晶圆搬运系统改造


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