代理Logosol LPA812-1E-V76P1-S23-S Prealigners寻边台
LOGOSOL LPA SERIES PREALIGNERS产品选型:
LOGOSOL主要产品系列及型号
LOGOSOL预对准器按应用场景分为三大系列:
1.LOGOSOL 边缘处理系列(Edge-Grip)
技术特点:
被动边缘接触技术,零机械应力,避免晶圆损伤。
支持透明度从不透明到全透明的晶圆1。
适用尺寸:75mm–300mm晶圆。
典型型号:
LPA6EH-3
,LPA8EH-3
,LPA68EH-3
,LPA8ET-3
,LPA12ET-3
,LPA812EH-3
。应用场景:碳化硅/氮化镓晶圆制造、高洁净度要求的化合物半导体生产线。
2. LOGOSOL独立式系列(Standalone)
技术特点:
单机处理方形、双层基板及圆形晶圆,支持45mm–480mm超大尺寸范围。
无需机械重定位,通过软件切换尺寸,提升柔性生产效率。
LOGOSOL典型型号:
LPA26-3
,LPA38-3
,LPA58-3
,LPA312-3
,LPA812-3
,LPA1218-3
。应用场景:研发实验室、多尺寸晶圆试产线、光伏基板定位。
3. LOGOSOL嵌入式系列(Embedded)
技术特点:
专为高速晶圆传输系统优化,低成本集成中心计算与角度定位功能。
提供高精度选件及定制夹具尺寸,兼容主流工业机器人。
LOGOSOL典型型号:
LPA25-1E
,LPA38-1E
,LPA58-1E
,LPA312-1E
,LPA812-1E
,LPA1218-1E
。应用场景:半导体量测设备(如日立CD-SEM)、自动化晶圆搬运系统改造
Logosol Logosol LPA Logosol LPA12ET-3 Logosol LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V Logosol LPA26-3 Logosol LPA38-3-V40E2-S23-S-V500P Logosol LPA58-3 Logosol LPA68EH-3-REHV1-S38-B-R900V-LH58 Logosol LPA312-1E Logosol LPA312-3 Logosol LPA312-3-SE Logosol LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P Logosol LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P-CT06 Logosol LPA812-1E-V76P1-S23-S Logosol LPA812-3 Logosol LPA1218-1E Logosol LPA1218-3 Logosol Prealigners Logosol Prealigners寻边台 Logosol代理 Logosol对准器 LOGOSOL总代 Logosol控制器 Logosol晶圆 Logosol晶圆处理平台 Logosol预对准器 Prealigners寻边台 美国Logosol