进口代理LOGOSOL LPA26-3-V23P1-S23-S-V500P-NE寻边器,巡边台
独立式高精度对准设备，适用于45毫米至480毫米工件（含方形及双层基板），具备多尺寸工件单单元处理能力，无需机械重新定位，支持卡盘装载与针式装载双模式，可提供高精度选项。
LOGOSOL STANDALONE预对准器是一种能够独立工作、不需要集成到更大设备中即可完成高精度定位校准的设备。它主要用于半导体制造等领域，负责将晶圆、掩模版等工件精确地定位到预设的位置和角度，以便进行后续的光刻、检测等关键工艺步骤。
LOGOSOL主要产品系列及型号
LOGOSOL预对准器按应用场景分为三大系列：
1.LOGOSOL 边缘处理系列（Edge-Grip）
技术特点：
被动边缘接触技术，零机械应力，避免晶圆损伤。
支持透明度从不透明到全透明的晶圆1。
适用尺寸：75mm–300mm晶圆。
典型型号：
LPA6EH-3,LPA8EH-3,LPA68EH-3,LPA8ET-3,LPA12ET-3,LPA812EH-3。应用场景：碳化硅/氮化镓晶圆制造、高洁净度要求的化合物半导体生产线。
2. LOGOSOL独立式系列（Standalone）
技术特点：
单机处理方形、双层基板及圆形晶圆，支持45mm–480mm超大尺寸范围。
无需机械重定位，通过软件切换尺寸，提升柔性生产效率。
LOGOSOL典型型号：
LPA26-3,LPA38-3,LPA58-3,LPA312-3,LPA812-3,LPA1218-3。应用场景：研发实验室、多尺寸晶圆试产线、光伏基板定位。
3. LOGOSOL嵌入式系列（Embedded）
技术特点：
专为高速晶圆传输系统优化，低成本集成中心计算与角度定位功能。
提供高精度选件及定制夹具尺寸，兼容主流工业机器人。
LOGOSOL典型型号：
LPA25-1E,LPA38-1E,LPA58-1E,LPA312-1E,LPA812-1E,LPA1218-1E。- 应用场景：半导体量测设备（如日立CD-SEM）、自动化晶圆搬运系统改造
