美国LOGOSOL预对准器如何选型,LPA寻边台
Logosol, Inc. 是一家精密运动自动化设计公司，开发和制造最先进的运动控制组件和系统用于工业自动化。Logosol 专注于设计和开发具有高度集成、卓越可靠性和性能、软件复杂性和无与伦比的多功能性的完整解决方案。
LOGOSOL公司于1991年在德国成立，由多家公司和人士共同创立。其主要目标是通过将运动控制的所有主要功能模块集成到标准尺寸的印刷电路板上，创建一个高度可靠且成本效益高的运动控制解决方案，并且占用空间小。1993年，公司在加利福尼亚州阳光谷建立了运营中心，以便更好地服务美国市场，特别是硅谷的半导体资本设备制造商。从那时起，Logosol的经验证明了的技术已被客户认为是技术上的突破。
Logosol经久考验的技术和高可靠性的标准是其产品线上的预对准器。Prealigners产品家族支持处理45mm至480mm范围内的物体，透明度从不透明到完全透明均可。Logosol独特的集成设计和多功能控制软件使其能够与各种半导体平台实现即插即用的兼容性和接口。
一，LOGOSOL选型
选择预对准仪型号的主要标准如下：
• 待对准物体类型：晶圆或基板，及其材料成分（如硅、玻璃、碳化硅、复合层压结构等）与刚性程度（如刚性硅晶圆或柔性Taiko晶圆）；
• 物体尺寸/范围：例如针对200毫米/8英寸晶圆，适用型号为LPA58-3或LPA812-3。部分客户可能需兼容75毫米/3英寸至300毫米/12英寸的全尺寸范围；
• 物体处理方式：真空吸附式、边缘夹持式(目前采用的都是“减少接触边缘处理(edgehandling with friction support)“方式，也就是利用摩擦接触点来支撑晶圆，并不对晶圆进行夹紧(clamping))、无真空摩擦式或卡盘固定式；
• 软件兼容性：部分客户要求兼容现有预对准器型号（如布鲁克斯Brooks、PRI/Equipe等品牌型号）。
