超高真空（UHV）腔体 旋转运动驱动器 差分抽气旋转台 直线驱动器 XY 移动平台 XYZ 操控器 四轴样品台 样品温度控制器

LK与 CHI-VAC 研发部门合作，提供各种 UHV 硬件产品，包括定制腔室、精密 XYZ 平台以及各种运动和纵设备。LK还提供各种类型的样品架、样品加热控制器和真空系统烘烤设备。

超高真空（UHV）腔体

• SUS304或316材质
• 氩弧焊
• 喷砂或电抛光
• 泄漏率：<10−11 mbar.1/s

运动与操控

• 旋转运动驱动器（波纹管式）
• 旋转运动驱动器（磁耦式）
• 差分抽气旋转台
• 标准直线驱动器
• 微调直线驱动器
• 重载直线驱动器
• 推拉式直线驱动器
  

  

• 电动控制直线驱动器
• Z 轴专用传输器
• 高精度 Z 轴专用传输器
• 重载型 Z 轴传输器
• XY 移动平台
• XYZ 操控器
• 高精度 XYZ 操控器
• 四轴样品台
• 低温四轴样品台

样品温度控制器

LK 提供用于样品加热的温度控制器，具备完整的 PID 控温功能。标准热电偶为 K 型，也可选配其他类型热电偶。控制器采用可编程的 Watlow 控制系统，配有便捷的 USB 计算机接口和配套软件。

多区段烘烤控制器（Bake Out Controller – Multizone）

LK 提供用于真空系统或其他烘烤应用的多区段烘烤控制器。标准控制器可为 4 个加热区供电，每个区段配有独立的热控开关，整体最大功率可达 6 kW。系统温度控制采用标准 K 型热电偶。我们还提供烘烤加热器、配套布线、可拆卸框架及烘烤帐篷等附件。