除了提供表面分析部件,LK Technologies 还专注于完整超高真空系统的设计与构建,这些系统通常集成了多个表面分析方法,既包括 LK 自有组件,也可集成其他厂商的设备。
这类系统的常见组成部分包括:精密的 UHV 腔体、主泵(通常为离子泵)、辅助泵(通常为涡轮分子泵)、高精度样品操控器、支撑框架以及真空测量装置。客户通常还会选配快速样品引入系统(加载锁)和烘烤控制系统。
欢迎联系 LK 获取更多信息,并讨论您的定制系统需求。以下是我们为全球实验室提供的部分系统示例:
多探针分析系统,包括 XPS 分析仪(配备 X 射线单色器)、半球分析仪、AES、ISS、多通道 HREELS 及完整的样品制备腔体,配有快速样品加载系统。
紧凑型 LEED/AES 系统
配置包括 RVL 2000 型 LEED 仪、MINICMA™ 分析仪、NGI3000 离子枪和样品引入系统。
EA5000MCA 型是我们新推出的一款多功能高分辨率分析仪,能在保持高能量分辨率的同时实现极快速数据采集。图中为其集成于一套完整的多通道 HREELS 系统中,并配有样品表征与加载系统。
该材料分析系统采用灵活的设计平台,便于集成 LEED、AES 和离子溅射等其他技术。