LK Tech UHV表面科研系统:多探针分析系统

除了表面分析组件外,LK Technologies还专门设计和构建完整的特高压系统,这些系统通常结合了LK组件和其他制造商的多种表面分析方法。

这些系统的常见元件是精密UHV室,主泵(通常是离子泵),辅助泵(通常是涡轮分子),精密样品操纵器,安装框架和真空计量。

多探针分析系统由XPS分析组成,包括X射线单色仪、半球分析仪、AES、ISS、多通道HREELS和带快速样品加载系统的全样品制备室。


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