表面科学用超高真空系统 完整超高真空系统 多探头分析系统 紧凑型 LEED/AES 分析系统 HREELS 多通道系统 TDS1000 热脱附系统

除了提供先进的表面分析部件外，LK Technologies 还专注于完整超高真空（UHV）系统的设计与制造，这些系统通常将 LK 自主研发的表面分析模块与其他品牌的仪器集成在一起，支持多种分析方法的联用。

🧩 系统标准配置包括：

• 精密 UHV 腔体（定制）

• 主泵（通常为离子泵）

• 辅助泵（通常为涡轮分子泵）

• 精密样品操作平台（Manipulator）

• 安装框架结构

• 真空测量模块（压力计、热偶规等）

⚙️ 常见客户选配件：

• 快速样品引入系统（Load Lock）

• 烘烤控制系统（Bake-Out Controller）

以下展示的是部分已在全球实验室成功交付使用的系统示例：

✅ 应用案例

1️⃣ 多探头分析系统

搭载以下模块：

• XPS 分析系统（配 X 射线单色器）

• 半球形能量分析仪

• AES（俄歇电子能谱）

• ISS（离子散射谱）

• 多通道高分辨电子能量损失谱（HREELS）

• 完整的样品制备腔体

• 快速样品加载装置

2️⃣ 紧凑型 LEED/AES 分析系统

配置包括：

• RVL 2000 LEED 衍射仪

• MINICMA™ 微型俄歇分析仪

• NGI3000 离子枪

• 样品加载系统

3️⃣ HREELS 多通道系统

EA5000MCA 高分辨能量分析仪，具备：

• 极快数据采集能力

• 保持高能量分辨率的同时实现多通道并行分析

• 配备完整样品表征和加载系统

4️⃣ TDS1000 热脱附系统

• 支持材料分析的模块化平台

• 可灵活扩展至 LEED 衍射、AES、离子刻蚀等技术