除了表面分析组件外,LK Technologies 还专门设计和制造完整的 UHV 系统,这些系统通常结合了 LK 组件和其他制造商的多种表面分析方法。
这些系统的常见元件是精密 UHV 腔室、主泵(通常是离子泵)、辅助泵(通常是涡轮分子泵)、精密样品纵器、安装框架和真空测量。客户通常要求的可选组件是快速进样系统(加载锁定)和烘烤控制。
多探针分析系统由带 X 射线单色仪的 XPS 分析、半球分析仪、AES、ISS、多通道 HREELS 和带有快速样品加载系统的完整样品制备室组成。

EA5000MCA 型是我们的新型多功能高分辨率分析仪,可在保持高能量分辨率的同时实现极快速的数据恢复。此处显示的分析仪已集成到一个完整的多通道 HREELS 系统中,该系统具有样品表征和加载系统。

用于材料分析的热脱附 TDS1000 系统具有灵活的设计平台,允许使用其他技术,如 LEED、AES 和离子溅射。