美国 Lattice Electro Optics
Excimer Laser Mirrors ArF (193nm) & KrF (248nm)
准分子激光镜ArF（193nm）和KrF（248nm）
参数 | |
| 材料: | VUV CaF2, UV Fused Silica |
| 平行度： | < 3 arc min |
| 净孔径： | > 85% of central dimension |
| 倒角： | 0.3mm ´ 45° |
| 表面形状： | l/10 at 632.8nm |
| 表面质量： | 20-10 for VUV CaF2 10-5 for UV Fused Silica |
| 能量: | Up to 1J/cm2, ArF Up to 4J/cm2, KrF |
| Part No | Diameter | Thickness | A.O.I. | |
| ArF (193nm) | KrF (248nm) | |||
| RX-193-0-UF-1025 | RX-248-0-UF-1025 | 1.00” | 0.250” | 0° |
| RX-193-0-UF-1420 | RX-248-0-UF-1420 | 36.0mm | 5.0mm | 0° |
| RX-193-0-UF-1520 | RX-248-0-UF-1520 | 1.50” | 5.0mm | 0° |
| RX-193-0-UF-2038 | RX-248-0-UF-2038 | 2.00” | 0.375” | 0° |
| RX-193-45-UF-1025 | RX-248-45-UC-1025 | 1.00” | 0.250” | 45° |
| RX-193-45-UF-1420 | RX-248-45-UC-1420 | 36.0mm | 5.0mm | 45° |
| RX-193-45-UF-1520 | RX-248-45-UC-1520 | 1.50” | 5.0mm | 45° |
| RX-193-45-UF-2038 | RX-248-45-UC-2038 | 2.00” | 0.375” | 45° |
(UF-BX) BK7柱面凹凸透镜（B-CC） Brewster的散射原理（BP） CaF2平面凹透镜 CaF2平面凹面镜毛坯 CaF2精密直角棱镜 Parallel Windows Pellin Broca棱镜（PP） Plane Mirror Blanks Plane Windows Porro棱镜（POP） Wedged Windows ZE-PC） ZE-PM 光学材料 准分子激光腔光学 准分子激光镜ArF（193nm）和KrF（248nm） 变形棱镜（AP） 圆柱形BK7平凸透镜（B-CX） 圆柱形紫外线熔融二氧化硅平凸透镜（UF-CX） 圆柱形紫外线熔融二氧化硅平面凹透镜（UF-CC） 布鲁斯特窗（WB）和椭圆窗（WE） 方形和矩形窗 激光窗口（WA1 WA2） 球形BK7双凸透镜 球形BK7双凹透镜（B-BC） 球形BK7平凸透镜（B-PX） 球形BK7平凹透镜 球形紫外线熔融二氧化硅双凸透镜 球形紫外线熔融二氧化硅平凸透镜（UF-PX） 球形紫外线熔融二氧化硅平凹透镜 球面凹凸镜坯料 球面平面凸面镜坯料 球面最佳形状双凸透镜 球面最佳形状双凸透镜（B-BB，UF-BB） 硒化锌镜片（ZE-NM 等边散射棱镜（EP） 精密五棱棱镜（PNP） 精密固体玻璃反射器（SR） 精密弯曲和折叠棱镜（BRP，FRP） 精密直角棱镜（RP） 鸽形棱镜（DP）
