Excimer Cavity Output Couplers (XOC)
激光腔输出耦合镜
- 193纳米、248纳米和308纳米准分子激光器的输出耦合器（腔内）
- 氟化钙或氟化镁基质
输出波长为193纳米、248纳米和308纳米的激光器是准分子激光器。这些波长可以在诸如微平版印刷术、微制造和医疗设备等应用中找到。在这些波长下，推荐使用氟化钙或氟化镁衬底作为腔内透射光学元件。输出耦合器反射率可由用户指定。请注意，Lambda的高质量准分子激光腔涂层是为耐酸/耐氟而设计的。
| 材料: | 紫外线级MgF₂ 紫外线级CaF₂ |
| 表面质量: | < 20 / 10 |
| 表面平整度: | < λ / 10 @ 633 nm |
| 直径公差: | < + 0.00 / – 0.20 mm |
| 厚度公差: | < ± 0.25 mm |
| 通光孔径: | >直径的85% |
| 损坏阈值: | >1.2焦耳/厘米，10纳秒 |
| 耐用性: | 符合MIL-C-675的附着力和磨损要求 |
选型参考：
| 尺寸 | 0.5英寸直径x 3.0毫米t、20.0毫米直径x 3.6mm毫米t、1.0英寸直径x 3.0毫米t、36.0毫米直径x 5.5毫米长，1.5英寸直径x 5.5毫米长，2.0英寸直径x 0.375英寸长 |
|---|---|
| 材料 | MgF2，紫外线级CaF2 |
| 反射率 | 25R、33R、50R、67R、75R |
| 波长 | 193纳米、248纳米、308纳米 |
