奥地利 KML Linear Motion Technology 单轴解决方案 高速 LMS 最动态的运动 最高的定位精度 系统刚性高 最低的颗粒物排放
高速直线电机系统设计用作半导体制造机器中的进给轴，以实现卓越的生产率和工艺可靠性。
除了通常的客户要求，如移动质量、行程范围、周期定义等。必须考虑其他特性。例如，这些是：
- 极其紧凑的设计
- 最高的同步质量（齿槽效应）
- 免维护
- 快速调试
- 绝对位置反馈
- 用于客户特定电缆的电缆管理
高速直线电机系统是专门为高定位精度的应用而开发的。它提供了使用定制滑块和底板钻孔模式的可能性，以满足个别要求。此外，该系统采用洁净室兼容设计，可在敏感环境中使用。为了便于初始调试，提供了一组参数，以实现快速高效的调试。
