电子枪系统
Kimball Physics 电子枪,其设计用于各种超高真空 (UHV) 表面物理、空间物理和处理应用。喷枪可聚焦小光斑,用于 X 射线生产、焊接和 RHEED 等应用;或用于泛光束,用于电荷中和、电子束洗涤、空间模拟和辐射损伤研究。
操作范围:
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性能:
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中能量电子枪(最大 30keV)
EGG-3101 / EGPS-3101
能量范围: 100 eV 至 10 keV
光束电流/光斑尺寸:
标准:10 nA 至 100 µA/标准:0.5 mm 至 25 mm
小光斑选项:1 nA 至 10 µA/60 µm 至 10 mm
高电流选项:1 µA至 1 mA/高电流选项:1.5 mm 至 25 mm
安装: 2¾CF
特性/选项:操作时可调节光束对准、准直光束、静电聚焦和偏转、消隐、脉冲、光栅、安装气动法拉第杯

EGG-3103 / EGPS-3103
能量范围: 100 eV 至 10 keV
光束电流/光斑尺寸:
标准:1µA 至 10 mA / 标准:1.5 mm 至 20 mm
高电流:5 mA 至 50 mA / 高电流:5 mm 至 25 mm
安装: 2¾CF
特性/选项:聚焦、高电流、偏转、光栅

EGF-3104 / EGPS-3104
能量范围: 200 eV 至 20 keV
光束电流/光斑尺寸:
标准:1 nA 至 100 µA/15 mm 至 50 mm
高电流:10 nA 至 1 mA/15 mm 至 50 mm
安装: 2¾CF
特性/选项:可调光束对准、广角均匀光束、发散控制、磁偏转、光束清洗、自定义孔径、脉冲、双网格

EMG-4212 / EGPS-3212
能量范围: 1 keV 至 20 keV
光束电流/光斑尺寸:
标准:10 nA 至 100 µA/标准:0.5 mm 至 25 mm
小光斑选项:1 nA 至 10 µA/100 µm 至 10 mm
高电流选项:1 µA至 1 mA/高电流选项:1.5 mm 至 25 mm
安装: 4½CF
特性/选项:操作时内部对准、准直光束、静电聚焦和偏转、光栅、脉冲、消隐

EMG-4212 / EGPS-4212
能量范围: 1 keV 至 30 keV
光束电流/光斑尺寸:
标准:10 nA 至 100 µA/标准:0.5 mm 至 25 mm
小光斑选项:1 nA 至 10 µA/100 µm 至 10 mm
高电流选项:1 µA至 1 mA/高电流选项:1.5 mm 至 25 mm
安装: 4½CF
特性/选项:操作时内部对准、准直光束、静电聚焦和偏转、光栅、脉冲、消隐

