Kimball低能量电子枪5keV Kimbal电子枪 Kimbal喷枪 超高真空 (UHV) X射线 泛光束 FRA-2X1-2/EGPS-1011 ELG-2/EGPS-1022 EGA-1012/EGPS-1012 EFG-7/EGPS-2017 EFG-7/EGPS-1017 EGL-2022/EGPS-2022

电子枪系统

Kimball Physics 电子枪,其设计用于各种超高真空 (UHV) 表面物理、空间物理和处理应用。喷枪可聚焦小光斑,用于 X 射线生产、焊接和 RHEED 等应用;或用于泛光束,用于电荷中和、电子束洗涤、空间模拟和辐射损伤研究。

操作范围:

  • ● 能量范围:1 eV 至 100 keV
  • ● 射束电流范围:1 nA 至 20 mA
  • ● 光斑尺寸范围:15 μm(聚焦柱)至 500+ mm(泛光光束)

优势:

  • ● 客户可更换的点火装置
  • ● 完全操作期间的机械对准
  • ● 可存储的控制设置
  • ● 电脑遥控/计量

性能:

  • ● 光束电流稳定性:反馈稳定的发射电流控制;优于每小时 ± 0.1%
  • ● 能量稳定性:每小时 ± 0.01%,满输出时每 8 小时 ± 0.02%,以最大限度地减少色差

应用:

  • ● 快速脉冲/光束消隐
  • ● 偏转/光栅
  • ● 枪式法拉第杯

低能量电子枪(最大 5keV)

FRA-2X1-2 / EGPS-1011

能量范围: 5 eV 至 1k eV
光束电流: 1 nA 至 400 µA
光斑尺寸: 20 mm 至 50 mm
安装: 2¾CF 或未安装
特性/选项:泛光灯、可变安装配置、脉冲

ELG-2 / EGPS-1022

能量范围: 1 eV 至 2k eV
光束电流: 1 nA 至 10 µA
光斑尺寸: 0.5 mm 至 5 mm
安装: 2¾CF,可拆卸选项
特性/选项:用于能量扫描、偏转、光栅化、高速脉冲的变焦镜头聚焦

EGA-1012 / EGPS-1012

能量范围: 5 eV 至 1k eV
光束电流: 1 μA 至 2 mA
光斑尺寸: 10 mm 至 25 mm(无聚焦能力)
安装: 2¾CF
特性/选项:泛光光束、脉冲、双网格

EFG-7 / EGPS-2017

能量范围: 50 eV 至 5k eV
光束电流: 1 nA 至 100 µA
光斑尺寸: 1 mm 至 100 mm
安装: 2¾CF,可拆卸选项
特性/选项:泛光光束或窄角光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉冲

EFG-7 / EGPS-1017

能量范围: 10 eV 至 1500 eV
光束电流/光斑尺寸: 1 nA 至 100 µA
光斑尺寸: 1mm 至 100mm
安装: 2¾CF,可拆卸选项
特性/选项:窄角光束或泛光光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉动

EGL-2022 / EGPS-2022

能量范围: 50 eV 至 5k eV
光束电流: 1 nA 至 100 µA
光斑尺寸: 1 mm 至 10 mm
安装: 2¾CF
特性/选项:用于能量扫描、偏转、光栅化、高速脉冲的变焦镜头聚焦