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Kimball高能量电子枪最大100keV Kimbal电子枪 Kimbal喷枪 EGH-8100/EGPS-8100 EGH-8103/EGPS-8103 EGH-8105/EGPS-8105 EGH-8201/EGPS-8201

电子枪系统

Kimball Physics 电子枪，其设计用于各种超高真空 (UHV) 表面物理、空间物理和处理应用。喷枪可聚焦小光斑，用于 X 射线生产、焊接和 RHEED 等应用；或用于泛光束，用于电荷中和、电子束洗涤、空间模拟和辐射损伤研究。

操作范围：

  • ● 能量范围：1 eV 至 100 keV
  • ● 射束电流范围：1 nA 至 20 mA
  • ● 光斑尺寸范围：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）

优势：

  • ● 客户可更换的点火装置
  • ● 完全操作期间的机械对准
  • ● 可存储的控制设置
  • ● 电脑遥控/计量

性能：

  • ● 光束电流稳定性：反馈稳定的发射电流控制；优于每小时 ± 0.1%
  • ● 能量稳定性：每小时 ± 0.01%，满输出时每 8 小时 ± 0.02%，以最大限度地减少色差

应用：

EGH-8100/ EGPS-8100

能量范围： 1 keV 至 100 keV
光束电流： 10 nA 至 1 mA（脉冲光束高达 20 mA）
光斑尺寸： 3 mm 至 100 mm
系统安装法兰： 6CF
涡轮泵安装法兰： 4½CF
仪表安装法兰： (3) 2¾CF
特性/选项：运行时内部对准、泛光光束、脉冲、高电流脉冲

EGH-8103 / EGPS-8103

能量范围： 10 keV 至 100keV
射束电流/光斑尺寸：
标准：10 nA 至 100 µA/标准：60 µm 至 10 mm
高电流：10 nA 至 1 mA/高电流：500 µm 至 10 mm
安装方式： 6CF 安装
特性/选项：操作时可调节对准、静磁聚焦和偏转、磁透镜、脉冲

EGH-8105 / EGPS-8105

能量范围： 1 keV 至 100 keV
光束电流： 50 nA 至 100 µA
光斑尺寸： 10 mm 至 500+ mm
安装： 6CF
特性/选项：操作时可调节光束对准、均匀泛光光束、用于均匀光斑的光束清洗、静电聚焦, 磁偏转, 脉冲, 光栅

EGH-8201 / EGPS-8201

能量范围： 10 keV 至 100 keV
光束电流： 10 nA 至 1 mA（脉冲至 20 mA）
光斑尺寸： 1 mm 至 100 mm
安装： 6CF
特性/选项：静磁聚焦和偏转、脉冲、差分泵浦、内部对准同时操作


EGH-8100/EGPS-8100 EGH-8103/EGPS-8103 EGH-8105/EGPS-8105 EGH-8201/EGPS-8201 Kimball高能量电子枪最大100keV Kimbal喷枪 Kimbal电子枪

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