EGL-2022 / EGPS-2022
能量范围： 50 eV 至 5k eV
光束电流： 1 nA 至 100 µA
光斑尺寸： 1 mm 至 10 mm
安装： 2¾CF
特性/选项：用于能量扫描、偏转、光栅化、高速脉冲的变焦镜头聚焦
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光束电流： 1 nA 至 100 µA
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安装： 2¾CF
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