美国 Kimball Physics 电子枪 电子束发生系统 EGA-1012 EGPS-1012
描述：
大电流、中等直径、低能电子束
5 eV至1000 eV
应用：
表面物理研究
真空物理实验
电荷中和
电子解吸
表面擦洗
荧光粉测试
电离实验
半导体加工
功能/选项：
束流高达2mA
反馈稳定发射电流
用户可更换的点火装置
特高压兼容/可烘烤
计算机/远程控制
光束脉冲选项
能量范围：5 eV至1 k eV
束流：1μA至2mA
光斑尺寸：10毫米至25毫米（无聚焦能力）
安装：2.75英寸CF
功能/选项：泛光光束、脉冲、双栅格
Kimball Physics EGA-1012电子枪及其配套的EGPS-1012电源适用于各种超高真空（UHV）物理实验、表面物理和低能量下需要高束流的加工应用。它是一个完整的子系统，可以随时连接和打开。束能、束流和束发散都可以独立调节。EGA-1012电子枪使用空间电荷受限的氧化物涂层阴极来产生均匀的泛光束。这种设计允许产生低能量和极低电流的光束。
特高压技术贯穿始终。拆下电缆后，电子枪可烘烤至350°C。使用法拉第杯时，除非移除，否则最高温度为65℃。
标准阴极是一个高电流、坚固的氧化钇涂层盘（Y2O3）。阴极在寒冷时不会因反复暴露于大气气体或水蒸气而损坏。该枪可以在10-1torr至10-5torr的真空中运行。阴极寿命是真空条件和与阴极温度相关的束流的函数。在良好真空条件下，低电流下的阴极寿命可能在数百小时，甚至超过一千小时。
