美国 Kimball Physics EGA-1012 电子枪 与 EGPS-1012 电子束发生系统

Kimball Physics EGA-1012 电子枪EGPS-1012 电源

产品概述

Kimball Physics EGA-1012 电子枪及其配套的 EGPS-1012 电源,适用于多种超高真空UHV)、表面物理及工艺应用,尤其适用于需要高束流电流且能量较低的场景。该电子枪是一个完整的子系统,安装后即可直接使用。束流能量、束流电流及束流发散角均可独立调节。

工作原理与性能

EGA-1012 电子枪采用空间电荷限制型氧化物涂层阴极,可产生均匀的泛射束。该设计使其能够产生低至低能量和极低电流的束流。

真空与烘烤要求

整枪采用超高真空(UHV)技术制造。电子枪在拆除电缆后可烘烤至 350°C。若安装有法拉第杯,除非将其拆除,否则最高烘烤温度为 65°C。

阴极特性

标准阴极为高电流、坚固耐用的氧化钇涂层盘(Y₂O₃)。阴极在冷态下不会因反复暴露于大气或水蒸气而损坏。该枪可在 10−11 Torr 至 10−5 Torr 的真空范围内运行。

阴极寿命取决于真空条件及与阴极温度相关的束流电流。在良好的真空条件下以低电流运行时,阴极寿命可达数百小时,甚至超过一千小时。

可更换组件与维修

发射单元(包含阴极、控制栅极、阳极,以及陶瓷绝缘体和电气连接——即完整的三极管结构)可由用户自行更换。旧发射单元可返回工厂进行翻新。整支电子枪也可返回工厂进行完全拆解、清洗及发射单元组件的翻新(包括安装新阴极)。

适用领域

功能与选件

  • 束流电流高达 2 mA

  • 反馈稳定的发射电流

  • 用户可更换的发射单元

  • 超高真空兼容 / 可烘烤

  • 计算机 / 远程控制

  • 束流脉冲选件


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