能量范围: 1 keV to 50 keV
束流范围以及光斑尺寸:标准：10nA到200μA/15mm到50mm；高束流：10nA到1mA/15mm到50mm
安装方式: 2¾CF法兰
特点：操作时可调束流对齐，宽角统一束流，散度控制，磁力偏转，束流洗涤，客户定制光阑孔径，双光栅脉冲
可选阴极：
插入深度：
其他定制需求：高束流（最大1mA），双光栅脉冲（2us-DC）磁力偏转（±20°），labview控制软件，软件光栅（须labview）端口对准器
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