产品概述
Kimball Physics EMG-4212 电子枪及其配套的 EGPS-3212 电源,是一款多用途模块化电子枪,适用于广泛的应用领域。该电子枪是一个完整的子系统,安装到用户的真空系统后即可直接使用。
性能特点
束流模式:可产生准直小束斑或泛射电子束
独立调节:束流电流、束流发散角及束流能量均可在宽范围内调节
能量范围:1 keV 至 20 keV
电流范围:标准阴极下 1 nA 至 100 μA(独立可调)
小束斑选项:采用六硼化镧(LaB₆)阴极,束斑直径可低至 100 μm
高电流选项:束流电流可高达 1 mA
可选功能:束流消隐、光栅扫描
模块化设计
EMG-4212 的模块化设计允许用户自行更换发射单元组件或透镜组件。发射单元(包含阴极、阴极安装座及韦纳尔特光阑)无需将整枪从真空腔体中拆下即可由用户更换。阳极也易于更换。阴极与阳极之间的间距可在内部调节,以改变电子束的导流系数。
实时对准功能
该枪配备可调阴极馈入组件,允许在电子枪于满电压、束流开启状态下实时进行发射单元相对于阳极及电子光柱的机械对准。
真空与烘烤要求
整枪采用超高真空(UHV)技术制造。标准钽盘阴极可在 10−1110−11 Torr 至 10−510−5 Torr 的真空范围内运行。拆除电缆后,电子枪可烘烤至 350°C。还可提供多种独立式法拉第杯设计。
可选阴极类型
| 阴极类型 | 特性 | 最低真空要求 |
|---|---|---|
| 钽(Ta)盘 | 标准阴极 | 10−510−5 Torr |
| 单晶六硼化镧(LaB₆) | 小束斑、高亮度 | 1×10−71×10−7 Torr |
| 氧化钡(BaO)盘 | 低发光、低能量展宽 | 1×10−71×10−7 Torr |
| 氧化钇涂层铱盘(Y₂O₃-Ir) | 坚固耐用 | 10−410−4 Torr |
除氧化钡外,其他阴极在冷态下不会因反复暴露于大气或水蒸气而损坏。
可更换组件与维修
发射单元可由用户自行更换,旧发射单元可返回工厂进行翻新。整支电子枪也可返回工厂进行全面拆解、清洗及发射单元组件的翻新(包括安装新阴极)。
EGPS-3212 电源
EGPS-3212 电源采用模块化设计,包含小型化电源集群、光隔离信号以及全新的 FlexPanel 数字接口控制器。内置电源包括:束流能量、聚焦、X/Y 偏转、可选的束流消隐器,以及浮地源/发射电流控制(ECC)和栅极电源。高电流系统还包含一个由 EGPS-3212 连接和控制的高压电源。
光栅扫描选项可通过电源内部附加模块实现,或通过 LabVIEW™ 软件完成。
FlexPanel 数字接口
FlexPanel 提供数字显示屏和前面板键盘,用于编程控制。后面板接口支持所有枪体电源的远程/计算机控制与监测。标准电源单元配备 RS-232 及 mini-USB 串行端口,以及一个模拟输入/输出接口。通过使用相应的数模转换器,可兼容所有常见的计算机接口总线类型,也可实现 RS-422/485 转换。
LabVIEW™ 软件选项
可选配专为 EMG-4212 设计的 LabVIEW™ 计算机程序,用于远程计算机控制与监测。软件提供两种选项:
使用 National Instrument DAQ 模块及 EGPS-3212 上的 50 针连接器
通过简单串行连接器接口
该程序在用户计算机屏幕上提供虚拟控制面板和实时测量显示。
适用领域
MBE RHEED 研究(分子束外延反射高能电子衍射)
电子衍射
空间物理研究
气体电子荧光
X 射线产生
加热 / 熔化 / 焊接
功能与选件
全新模块化设计
运行中内部对准
准直束
小束斑选项:低至 100 μm
高电流选项:高达 1 mA
静电聚焦与偏转
用户可更换的发射单元
超高真空兼容 / 可烘烤
计算机 / 远程控制
束流脉冲与消隐选项

