Kimball 高能电子枪 EGH-6210 EGPS-6210 可聚焦高能电子束,光斑尺寸小至 50 μm 半导体研究 X 射线生成

应用:

功能/选项:

  • 小光斑尺寸低至 50 μm
  • 中等电流束至 5 mA
  • 高达 10 mA 的高电流束
  • 静磁聚焦
  • 静磁光束整形(可选)
  • 静磁偏转
  • 脉冲能力
  • 运行期间的内部对准
  • 差速泵送

用户可更换的点火装置

能量范围:1 keV 至 60 keV
光束电流:10 μA 至 5 mA
光斑尺寸:50 μm 至 10 mm
安装:2.75 英寸(23/4)CF

Kimball Physics EGH-6210 电子枪及其匹配的 EGPS-6210 电源是一个完整的子系统,可连接到用户的真空系统并打开。它可以在非常广泛的能量、电流和功率范围内传递电子。EGH-6210 可应用于空间材料测试、辐射研究、半导体研究、X 射线产生和等离子体激发。

该枪使用单晶六硼化镧 (LaB6阴极产生高能、可聚焦的小光斑电子束。束流能量和束流都可以在很宽的范围内独立调节;能量从 1 keV 到 60 keV,电流从 10 μA 到 5 mA。电子束可以通过控制网格的输入信号进行脉冲传输。

喷枪的可调节光学元件可以适应不同的发散和一系列工作距离,适用于各种应用。磁性聚焦透镜可以将光斑尺寸从 10 mm 变为 50 μm。磁性定心和可选的整形线圈提供额外的电子束控制,允许用户偏转和塑造电子束。整形通常会产生椭圆形梁,其两个轴都可以独立压缩或延伸。静磁聚焦透镜和偏转整形四极杆都能产生低像差的结果。此外,阴极到阳极的间距可在内部调节以改变磁长。

该喷枪具有可调节的阴极馈通组件,允许点火装置相对于阳极和色谱柱进行机械对准。这种对准可以在喷枪在光束打开的情况下运行时实时完成。


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