应用:
功能/选项:
能量范围:50 eV 至 5k eV
光束电流:1 nA 至 100 μA
光斑尺寸:1 mm 至 100 mm
安装:2.75 英寸(23/4 英寸)CF,可拆卸选项
特点/选项:泛光光束或窄角光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉冲
Kimball Physics EFG-7 电子枪及其匹配的 EGPS-2017 电源旨在用于各种超高真空 (UHV) 物理实验、表面物理实验和加工应用。它是一个完整的子系统,随时可以连接和打开。光束能量、光束电流和光斑尺寸可在很宽的范围内独立调节。
EFG-7 电子枪使用难熔金属阴极产生均匀的泛光光束。枪式设计允许产生低能量和极低电流的光束。5 keV 型 EFG-7 可产生 1 nA 至 100 μA 的束流和 50 eV 至 5 keV 的能量。
定心偏转、光栅和脉冲均作为选项提供。由于该设计已优化为泛洪枪,并使用圆柱形 4 极偏转器,因此当光束聚焦到一个小点时,偏转像差可能会很严重。
全程采用 UHV 技术。该喷枪可以在 10 级真空中运行-11torr 最多 10-5torr 用于标准 Ta 盘阴极。电子枪可在去除电缆后烘烤至 350°C。