Kimball电子枪 电子束发生系统 电子束源 EFG-7 EGPS-2017
描述
聚焦或均匀广角低能电子束
50 电子伏特至 5 千电子伏特
应用：
・表面物理研究
・真空物理实验
・电荷中和
・电子解吸
・表面清洁
・荧光粉测试
・电离实验
・半导体加工
特点 / 选项：
・广泛可控的参数
・泛流束或窄角束
・静电聚焦
・偏转、扫描、脉冲
・可拆卸电子枪
・计算机 / 远程控制
能量范围：50 电子伏特至 5 千电子伏特
束流：1 纳安至 100 微安
光斑尺寸：1 毫米至 100 毫米
安装方式：2.75 英寸（2 又 3/4 英寸）CF，可选可拆卸式
特点 / 选项：泛流束或窄角束、静电聚焦、偏转、扫描、脉冲
