产品概述
Kimball Physics ILG-6 碱金属离子枪及其配套的 IGPS-1016 电源，专为多种表面物理应用而设计，代表了碱金属表面电离离子源技术的重大进步。该离子枪是一个完整的子系统，安装后即可直接使用。
离子束特性
通过使用不同的源发射单元，可产生 Cs、Li、Na、K、Rb 等碱金属离子束。碱金属通过固-固化学反应按需生成，随后进行表面电离和蒸发，具有低能量展宽。所产生的离子束可低至低能量和极低电流。
离子能量范围：10 eV 至 1000 eV（宽范围内独立可调）
束流电流：1 nA 至 100 nA（使用铯或锂离子源时）
束斑尺寸范围：小于 1 mm 至 5 mm
采用多级结构和计算机设计的离子变焦透镜，在能量变化两个数量级时，仍能保持束流电流和束斑尺寸基本恒定。
真空与烘烤要求
整枪采用超高真空（UHV）技术制造，可在 10−11 Torr 至 10−5 Torr 的真空范围内运行。拆除电缆后，离子枪可烘烤至 350°C。离子源单元在冷态下不会因反复暴露于大气或水蒸气而损坏。
可更换组件与维修
离子源发射单元可由用户自行更换。可购买新的备用发射单元，旧发射单元可返回工厂进行翻新。此外，整支离子枪也可返回工厂进行全面清洗、翻新、离子源更换及可选的真空内测试。
安装配置
ILG-6 离子枪提供两种安装配置：
脉冲调制选项
控制栅极支持两种脉冲方式：
快速电容束流脉冲：使用脉冲接线盒，脉冲宽度可低至 20 ns，最大占空比 20%。需外接可变电压脉冲发生器（需另购）
双栅极脉冲：使用双栅极电源，仅需 TTL 脉冲输入即可实现离子束脉冲
IGPS-1016 电源
IGPS-1016 电源采用模块化设计，包含小型化电源集群、光隔离信号以及全新的 FlexPanel 数字接口控制器。内置电源包括：离子束能量、X/Y 偏转，以及浮地源/发射电流控制（ECC）、栅极、提取和聚焦电源。
光栅扫描选项可通过附加的独立电源单元（光栅扫描发生器偏转单元）提供。
FlexPanel 数字接口
FlexPanel 提供数字显示屏和前面板编码轮，用于编程控制。后面板接口支持所有枪体电源的远程/计算机控制与监测。标准电源单元配备 RS-232 串行端口及模拟输入/输出接口。通过使用相应的数模转换器，可兼容所有常见的计算机接口总线类型，也可实现 RS-422/485 转换。
LabVIEW™ 软件选项
可选配专为 ILG-6 设计的 LabVIEW™ 计算机程序，用于通过 National Instrument DAQ 板卡和 IGPS-1016 上的 SCSI 连接器进行远程计算机控制与监测。该程序在用户计算机屏幕上提供虚拟控制面板和实时测量显示。
适用领域
功能与选件
极低能量
宽能量范围
恒定束流电流
恒定束斑尺寸
变焦透镜聚焦
可拆卸电子枪
高速脉冲
偏转、光栅扫描
计算机 / 远程控制
