产品概述
Kimball Physics EMG-4193 电子枪及其配套的 EGPS-4190 电源与 COPS-4190 电子光柱光学单元，是一款中等功率电子枪，专为表面物理研究及通用真空物理实验设计。该电子枪是一个完整的子系统，安装到用户的真空系统后即可直接使用。
性能特点
独立调节：束流电流和束流能量均可在宽范围内独立调节
能量范围：1 keV 至 30 keV
电流范围：1 nA 至 10 μA
束流发散角：可直接控制
发射稳定性：通过电子反馈调节控制栅极，维持恒定发射
阴极寿命：LaB₆ 阴极寿命可达数千小时
光栅扫描：可对目标进行成像扫描
电子光学系统
该枪配备可调光学系统，包括：
两个聚焦透镜
三个四极对准元件
两个八极偏转元件
此外，该枪还配备可调馈入组件，允许在电子枪运行状态下对发射单元进行机械对准。
束流消隐与法拉第杯
该枪内置消隐元件，可将电子束偏转至同轴法拉第杯，用于测量电子光柱中的束流电流。消隐器可在电子枪运行期间切断束流，也可用于脉冲调制。
真空与烘烤要求
整枪采用超高真空（UHV）技术制造，可在 10−11 Torr 至 10−7 Torr 的真空范围内运行。电子枪可完全拆解以进行清洁和维修。阴极发射单元组件（包含阴极、阴极安装座及韦纳尔特光阑）可由用户自行更换。阴极在冷态下不会因反复暴露于大气或水蒸气而损坏。系统可烘烤，具体参数详见规格表。
EGPS-4190 / COPS-4190 电源系统
EGPS-4190 与 COPS-4190 电子枪电源系统采用模块化设计，包含小型化电源集群、光隔离信号以及 FlexPanel 数字接口控制器。EGPS-4190 和 COPS-4190 单元包含运行 EMG-4193 电子枪所需的所有电源。
内置电源包括：
EGPS-4190 单元：
束流能量
聚束透镜 1
物镜 2
消隐器
浮地于负高压的电源（源、栅极）
COPS-4190 电子光柱光学单元：
孔径对准四极（X/Y）
透镜对准四极 1（X/Y）
透镜对准四极 2（X/Y）
偏转八极 1（X/Y）
偏转八极 2（X/Y）
光栅扫描：通过计算机生成的周期信号改变八极偏转实现。
FlexPanel 数字接口
FlexPanel 提供数字显示屏和前面板键盘，用于编程控制。后面板接口支持所有枪体电源的远程/计算机控制与监测。标准电源单元配备 RS-232、RS-422/485 及 mini-USB 串行端口，以及一个模拟输入/输出接口。通过使用相应的数模转换器，可兼容所有常见的计算机接口总线类型。
适用领域
表面物理研究
真空物理实验
功能与选件
全新模块化设计
光发射选项（选配）
运行中内部对准
静电聚焦
四极对准
八极偏转 / 光栅扫描 / 像散校正
束流消隐
同轴法拉第杯
内部磁屏蔽
差动泵送
小束斑：低至 25 μm
束流电流：1 nA 至 10 μA
超高真空兼容 / 可烘烤
计算机 / 远程控制
用户可更换的发射单元
