Kimball Physics EGH-6002 电子枪与 EGPS-6002 电源

产品概述

Kimball Physics EGH-6002 电子枪及其配套的 EGPS-6002 电源，是一个完整的子系统，安装到用户的真空系统后即可直接使用。该电子枪可在极宽的能量、电流和功率范围内输出电子束，适用于从半导体研究到二次电子发射研究的多种应用。

性能特点

• 高能量、可聚焦、小束斑电子束输出

• 独立调节：束流能量和束流电流均可在宽范围内独立调节

  • 能量范围：1 keV 至 50 keV

  • 电流范围：10 nA 至 100 μA

• 电子束脉冲：可通过控制栅极输入信号实现脉冲调制

• 可调光学系统：适应不同的发散角和工作距离

• 束斑尺寸：0.5 mm 至 10 cm 可调

• 磁聚焦与磁对中偏转：实现低像差束流控制

• 阴极-阳极间距：内部可调，用于改变导流系数

实时对准功能

该枪配备可调阴极馈入组件，允许在电子枪于满电压、束流开启状态下实时进行发射单元相对于阳极及电子光柱的机械对准。发射单元（包含阴极、阴极安装座及韦纳尔特光阑）无需将电子枪从真空腔体中拆下即可由用户更换。旧发射单元可返回工厂进行翻新。

可选阴极类型

提供多种阴极类型与尺寸：

所有阴极在冷态下不会因反复暴露于大气或水蒸气而损坏。

真空与烘烤要求

整枪采用超高真空（UHV）技术制造。

• 金属阴极：可在 10−1110−11 Torr 至 10−610−6 Torr 范围内运行

• LaB₆ 阴极：最低真空要求 10−710−7 Torr

• 氧化钇涂层铱阴极：可承受完全破真空

拆除电缆及电子箱后，电子枪可烘烤至 200°C（受限于磁聚焦与偏转线圈）。源区单独可烘烤至 350°C。

安装方式

电子枪可安装在 4.5 英寸或 6.0 英寸 CF 法兰上，真空腔体内零插入深度。还可提供多种独立式法拉第杯设计。

EGPS-6002 电源系统

EGPS-6002 电源系统包含运行 EGH-6002 电子枪所需的所有电源，系统设计包括一个独立的高压电源。

LabVIEW™ 软件选项

可选配专为 EGH-6002 设计的 LabVIEW™ 计算机程序，用于远程计算机控制与监测。软件提供两种选项：

1. 使用 National Instrument DAQ 模块及 EGPS-6002 上的 50 针连接器

2. 通过 mini-USB 或 RS-232 串行连接器接口

该程序在用户计算机屏幕上提供虚拟控制面板和实时测量显示。

适用领域

• 通用真空物理

• 辐射研究

• 表面轰击

• 半导体研究

• 生物样品辐照

• X 射线产生

• 等离子体激发

• 荧光研究

• 表面物理研究

功能与选件

• 中等束流电流

• 小束斑尺寸

• 静磁聚焦

• 静磁偏转

• 脉冲功能

• 运行中内部对准

• 用户可更换的发射单元

• 4.5 英寸或 6.0 英寸 CF 安装法兰

• 超高真空技术 / 可烘烤

• 计算机 / 远程控制