Kimball Physics EFG-7 电子枪与 EGPS-1017 电源
产品概述
Kimball Physics EFG-7 电子枪及其配套的 EGPS-1017 电源，适用于多种超高真空（UHV）、表面物理及工艺应用场景。该电子枪是一个完整的子系统，安装后即可直接使用。束流能量、束流电流及束斑尺寸均可在宽范围内独立调节。
工作原理与性能
EFG-7 电子枪采用难熔金属阴极，可产生均匀的泛射束。该枪设计使其能够产生低至低能量和极低电流的束流。标准型号 EFG-7 可产生 1 nA 至 100 μA 的束流电流，能量范围为 10 eV 至 1500 eV。可选的高电流选项可将束流电流提升至 1 mA。
可选功能
可选功能包括：对中、偏转、光栅扫描及脉冲调制。由于该枪设计为泛射束枪，并采用圆柱形四极偏转器，当束流聚焦为小束斑时，偏转像差可能较为显著。
真空与烘烤要求
整枪采用超高真空（UHV）技术制造。标准钽盘阴极可在 10−11 Torr 至 10−5 Torr 的真空范围内运行。电子枪在拆除电缆后可烘烤至 350°C。若安装有法拉第杯，除非将其拆除，否则最高烘烤温度为 65°C。
技术规格
| 参数 | 标准配置 | 高电流选项 |
|---|---|---|
| 束流能量 | 10 eV – 1500 eV | 10 eV – 1500 eV |
| 束流电流 | 1 nA – 100 μA | 高达 1 mA |
| 束斑尺寸 | 1 mm – 100 mm（可调） | — |
功能与选项
可调参数：能量、电流、束斑尺寸独立可调
束流模式：泛射束或窄角束
电子光学：静电聚焦
束流调制：偏转、光栅扫描、脉冲
安装方式：2.75 英寸 CF 法兰，可选可拆卸配置
控制方式：前面板控制 / 远程计算机控制
典型应用
