美国 Kimball Physics Lanthanum Hexaboride Single Crystal Cathode (Pincer Mount) 六硼化镧单晶阴极(夹持式安装)
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与前代产品相同,
ES-462 阴极适用于众多受亮度限制的电子光学系统,包括扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、电子探针以及电子光刻设备等。此外,ES-462 在工作稳定性方面实现了显著提升,使其成为对束流稳定性要求严苛、需恒定束流应用场景的优选方案。
本公司获得专利技术的 ES-462 阴极采用优化的散热设计与牢固的电气连接结构,打造出具备无与伦比电气稳定性与位置稳定性的
六硼化镧发射体。
ES-462
六硼化镧阴极所采用的 “钳式安装” 结构,通过两根钼针直接牢固夹持碳质加热器。即便在 1800 开尔文及以上的高温工作环境下,钳式安装阴极仍能保持极低的电阻波动。在经历从室温至 1800 开尔文往复超过 10000 次温度循环,以及连续运行超 100 天后,该阴极依旧保持极高稳定性。电阻稳定意味着工作温度稳定,进而提升阴极发射的稳定性。
这种带来优异电阻稳定性的坚固安装结构,同时赋予阴极出色的空间稳定性,加热时离轴热位移极小。这使得钳式安装阴极在从室温升温至工作温度的过程中,可始终与电子光学系统中的其他部件保持最佳对准状态。

适用设备:
- 扫描电子显微镜
- 透射电子显微镜
- 电子光刻系统
- 电子加速器
- X 射线源
- 自由电子激光器
- 定制化应用场景
特性 / 可选配置:
- 卓越稳定性
- 可靠的电气连接与优化的散热设计
- 机械运动幅度小
- 耐高温过载能力强
- 高亮度 / 低能量散度
- 不含磁性材料
- 使用寿命长
- 在洁净真空环境下可稳定工作数千小时
- 结构安装故障质保
- 精密加工碳质安装基座
- 精准微平面结构