美国 Kimball Physics 电子枪 电子束发生系统 EGA-1012 EGPS-1012
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EGA-1012 型电子枪及其配套的
EGPS-1012 型电源,适用于各类
超高真空(
UHV)物理实验、
表面物理研究以及需要低能量下获得高束流强度的加工应用场景。该产品为完整子系统,可直接安装并通电使用。电子束能量、束流强度及束流发散度均可独立调节。EGA-1012 型电子枪采用空间电荷限制型氧化物涂层
阴极,可产生均匀的泛射电子束。这种设计能够实现低能量、极低束流强度的电子束输出。
产品全程采用超高真空技术制造。拆除线缆后,电子枪可耐受最高 350℃的烘烤温度;若配备
法拉第杯,最高耐受温度为 65℃,移除法拉第杯后则不受此限。
标准配置阴极为
大电流、高耐用性的
氧化钇(Y₂O₃)涂层圆盘。阴极在冷态下反复暴露于大气或水蒸气中不会受损。该电子枪可在 10⁻¹¹ 托至 10⁻⁵托的真空环境下工作。阴极使用寿命取决于真空条件以及与阴极温度相关的束流强度。在良好真空环境中以低电流运行时,阴极使用寿命可达数百小时,甚至超过一千小时。

大电流、中等直径、低能电子束
5 电子伏特至 1000 电子伏特
应用领域:
- 表面物理研究
- 真空物理实验
- 电荷中和
- 电子解吸
- 表面清洗
- 荧光粉测试
- 电离实验
- 半导体加工
特性 / 可选配置:
- 束流最高可达 2 毫安
- 带反馈稳定的发射电流
- 用户可自行更换发射单元
- 兼容超高真空环境 / 可烘烤处理
- 计算机 / 远程控制
- 电子束脉冲可选
能量范围:5 电子伏特至 1 千电子伏特
束流:1 微安至 2 毫安
光斑尺寸:10 毫米至 25 毫米(无聚焦功能)
安装接口:2.75 英寸 CF 法兰
特性 / 可选配置:泛射束、脉冲功能、双栅极