Kimball电子枪 电子束发生系统 电子束源 EGA-1012 EGPS-1012
描述
大电流、中等直径、低能电子束
5 电子伏特至 1000 电子伏特
应用：
・表面物理研究
・真空物理实验
・电荷中和
・电子解吸
・表面清洁
・荧光粉测试
・电离实验
・半导体加工
特点 / 选项：
・束流高达 2 毫安
・反馈稳定发射电流
・用户可更换发射单元
・兼容超高真空 / 可烘烤
・计算机 / 远程控制
・束流脉冲选项
能量范围：5 电子伏特至 1 千电子伏特
束流：1 微安至 2 毫安
光斑尺寸：10 毫米至 25 毫米（无聚焦功能）
安装：2.75 英寸 CF 接口
特点 / 选项：泛光束、脉冲、双栅极
