EGH-6002 / EGPS-6002
能量范围： 1 keV 至 50 keV
光束电流： 10 nA 至 100 µA
光斑尺寸： 0.5 mm 至 100 mm
安装： 4½CF 或 6CF
特性/选项：操作时内部对准、静磁聚焦和偏转、磁透镜、脉冲
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