ELG-2 / EGPS-1022
能量范围： 1 eV 至 2k eV
光束电流： 1 nA 至 10 µA
光斑尺寸： 0.5 mm 至 5 mm
安装： 2¾CF，可拆卸选项
特性/选项：用于能量扫描、偏转、光栅化、高速脉冲的变焦镜头聚焦
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