美国Kimball Physics,离子枪系统, 脉冲,IGS-4 / IGPS-2014
Kimball Physics 离子枪系统或离子源用于表面物理、空间物理、真空物理、电荷中和、检测校准、二次离子质谱和 MBE 离子注入。
操作范围
- 能量范围:10eV 至 20 keV
- 光束电流范围:1 nA 至 2 μA
- 光斑尺寸范围:500 μm 至 25 mm
多面性
- 灵活的控制器:独立的光纤控制和计量功能,如离子能量、源、电子能量、场控制、提取、聚焦、X – Y 偏转和电子电流控制。
- 碱金属离子源的选择允许不同的离子种类。