美国Kimball Physics,电子枪系统,高能量（最大 100 keV）

Kimball Physics 电子枪（束流）系统通常包括一个匹配的电源，以提供完整的子系统，该子系统可以连接到用户的真空硬件并打开。

许多系统上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其宽范围内独立调节，并且可以使用可选的 Labview 进行控制^TM计算机接口。

我们的大多数系统在真空条件下都兼容 UHV（超高真空），最高可达 10^-11托。根据系统的不同，可以使用各种阴极选项，包括：

1. 氧化钡盘（BaO，低光，低能量扩散，最小真空度 1×10^-7托尔）
2. 钇涂层铱片（Y₂O₃铱，坚固耐用，真空度高达 10^-4Torr，可能在短暂的真空损失中幸存下来）
3. 钽盘阴极
4. 单晶六硼化镧 （LaB₆，小光斑，高亮度，最小真空度 1×10^-7托尔）

Kimball Physics 的产品已经发展成为范围广泛的电子束系统，我们将其武断地描述为低能量（高达 5 keV）、中等能量（高达 30 keV）和高能量（高达 100 keV）系统。许多系统都是从定制项目中诞生的，这仍然是我们关注的很大一部分。

高能系统，能量范围为 1 keV 至 100 keV，电流范围为 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸范围为 50 微米至 500 mm。

下表提供了电子枪系统规格以及每个高能电子枪系统的典型应用和功能的比较。

高能电子枪系统（< 100 keV）

描述

可聚焦泛光高能电子束

1 keV 至 100 keV

应用：

功能/选项：

能量范围：1 keV 至 100 keV
束流：50 nA 至 100 μA
光斑尺寸：10 mm 至 500+ mm
安装：6.0“ CF

Kimball Physics EGH-8105 电子枪及其匹配的 EGPS-8105 电源是一个完整的子系统，可连接到用户的真空系统并打开。它可以在广泛的能量、电流和功率范围内传递电子。EGH-8105 是一款高功率、可聚焦的泛光枪，用于航天器材料测试和其他表面物理和一般真空物理应用。

这是一种高能、可聚焦的泛光电子束系统，其中束流能量和束流都可以在很宽的范围内独立调节。可以实现 1 keV 至 100 keV 的能量和从皮安（pA）到毫安（mA）的电流。电子束可以通过控制网格的输入信号进行脉冲传输。

喷枪的可调节光学元件可以适应不同的发散和不同的工作距离。提供磁束清洗选项，可显著提高光束均匀性。静电聚焦透镜可控制泛光光束光斑尺寸，通常为数十厘米。然而，作为泛洪式喷枪，光斑大小也部分取决于网格、阳极和工作距离。

该喷枪具有可调节的阴极馈通组件，允许点火装置相对于阳极和色谱柱进行机械对准。当喷枪在全电压下运行并打开光束时，可以实时完成这种对准。点火装置弹药筒（包括阴极、阴极支架和 Wehnelt 孔）可由用户更换，无需从真空室中取出喷枪。用过的点火装置可以退回工厂进行重建。