美国Kimball Physics,电子枪系统,低能耗（最大 5 keV),FRA-2X1-2 / EGPS-1011

美国Kimball Physics,电子枪系统,低能耗（最大 5 keV),FRA-2X1-2 / EGPS-1011

Kimball Physics 电子枪（束流）系统通常包括一个匹配的电源，以提供完整的子系统，该子系统可以连接到用户的真空硬件并打开。

许多系统上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其宽范围内独立调节，并且可以使用可选的 Labview 进行控制^TM计算机接口。

我们的大多数系统在真空条件下都兼容 UHV（超高真空），最高可达 10^-11托。

根据系统的不同，可以使用各种阴极选项，包括：

1. 1. 氧化钡盘（BaO，低光，低能量扩散，最小真空度 1×10^-7托尔）
   2. 钇涂层铱片 （Y₂O₃铱，坚固耐用，真空度高达 10^-4Torr，可能在短暂的真空损失中幸存下来）
   3. 钽盘阴极
   4. 单晶六硼化镧 （LaB₆， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10^-7托尔）

Kimball Physics 的产品已经发展成为范围广泛的电子束系统，我们将其武断地描述为低能量（高达 5 keV）、中等能量（高达 30 keV）和高能量（高达 100 keV）系统。许多系统都是从定制项目中诞生的，这仍然是我们关注的很大一部分。

低能耗系统，能量范围为 1 eV 至 5 keV，电流范围为 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸为 0.5 mm 至 100 mm。

下表提供了电子枪系统规格以及每个低能电子枪系统的典型应用和功能的比较。

型号 #： FRA-2X1-2 EGPS-1011

描述

来自致密源的广角低能电子束

5 eV 至 1000 eV

应用：

• 电荷中和
• 表面物理研究
• 电离实验
• 表面清理

功能/选项：

• 均匀泛光光束
• 紧凑型设计（直径 13 mm x 长度 17 mm）
• 可变安装配置
• 低能量下的中等电流
• 可重建组件
• 脉冲选项

能量范围：5 eV 至 1 keV
光束电流：1 nA 至 400 μA
光斑尺寸：20 mm 至 50 mm
安装：2.75 英寸（23/4 英寸）CF 或未安装
特性/选项：泛光光束、可变安装配置、脉冲

Kimball Physics FRA-2X1-2 电子枪及其匹配的 EGPS-101 电源旨在用于各种 UHV 表面物理、电荷中和和加工应用。它是一个完整的子系统，可以连接到用户的真空系统并打开。束流能量和束流都可以在很宽的范围内调节。

FRA-2X1-2 电子枪使用难熔金属阴极产生均匀的泛光光束。阴极专为低能量扩散而设计。枪式设计允许产生低能量和极低电流的光束。FRA-2X1-2 可以在低至 5 eV 的能量下产生适度的束流。它可以在 5 eV 时提供 50 μA 的最大光束电流，在 1000 eV 下提供 400 μA 的最大光束电流。

FRA-2X1-2 低能电子洪射枪采用平面三极管设计。加速网格增强了低能量下的束流。由于施加到栅极的正电位（相对于阴极为 0 至 +100 V），可能在此网格上产生的二次电子无法离开电子枪。