美国Kimball Physics,电子枪系统,低能耗（最大 5 keV),ELG-2 / EGPS-1022

Kimball Physics 电子枪（束流）系统通常包括一个匹配的电源，以提供完整的子系统，该子系统可以连接到用户的真空硬件并打开。

许多系统上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其宽范围内独立调节，并且可以使用可选的 Labview 进行控制^TM计算机接口。

我们的大多数系统在真空条件下都兼容 UHV（超高真空），最高可达 10^-11托。

根据系统的不同，可以使用各种阴极选项，包括：

1. 1. 氧化钡盘（BaO，低光，低能量扩散，最小真空度 1×10^-7托尔）
   2. 钇涂层铱片 （Y₂O₃铱，坚固耐用，真空度高达 10^-4Torr，可能在短暂的真空损失中幸存下来）
   3. 钽盘阴极
   4. 单晶六硼化镧 （LaB₆， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10^-7托尔）

Kimball Physics 的产品已经发展成为范围广泛的电子束系统，我们将其武断地描述为低能量（高达 5 keV）、中等能量（高达 30 keV）和高能量（高达 100 keV）系统。许多系统都是从定制项目中诞生的，这仍然是我们关注的很大一部分。

低能耗系统，能量范围为 1 eV 至 5 keV，电流范围为 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸为 0.5 mm 至 100 mm。

下表提供了电子枪系统规格以及每个低能电子枪系统的典型应用和功能的比较。

型号 #： ELG-2 EGPS-1022

描述

能量扫描：恒定束流和近似恒定的光斑尺寸

新的更低能量范围，可提高分辨率

1 eV 至 2000 eV

应用：

• 表面物理研究
• 电子刺激解吸
• 逆光电子发射
• 电离实验
• 电荷中和

功能/选项：

• 能量范围广
• 极低能量
• Constant Beam Current
• 恒定光斑大小
• 变焦镜头对焦
• 可拆卸喷枪
• 高速脉冲
• 偏转、栅格化
• 电脑/遥控器

能量范围：1 eV 至 2 keV
光束电流：1 nA 至 10 μA
光斑尺寸：0.5 mm 至 5 mm
安装：2.75 英寸（23/4CF，可拆卸选项
）特点/选项：用于能量扫描、偏转、光栅、高速脉冲的变焦镜头聚焦

Kimball Physics ELG-2 电子枪及其配套的 EGPS-1022 电源旨在用于电子刺激解吸研究、二次电子发射系数测量研究、表面物理和其他真空物理研究。它是一个完整的子系统，随时可以连接到用户的真空系统并启动。

光束能量、光束电流和光斑尺寸可在很宽的范围内独立调节。能量在 1 eV 到 2000 eV 之间变化，包括低范围，以提高最低能量下的分辨率。通过使用多级和计算机设计的电子变焦镜头，在能量的两个数量级变化中保持恒定的束流，光斑尺寸也大致恒定。该枪可以在 2 cm 的工作距离和 10 eV 的范围内向大约 1 mm 的光斑提供 1 μA 的电流。电子枪使用单电位耐火阴极产生低能量扩散光束。

全程采用 UHV 技术。该喷枪可以在 10 级真空中运行^-11torr 最多 10^-5torr 用于标准 Ta 盘阴极。电子枪可在 350°C 下工作，无需电缆。使用法拉第杯时，最大值为 65^oC 除非被删除。