美国Kimball Physics,电子枪系统,低能耗（最大 5 keV),EGL-2022 / EGPS-2022
Kimball Physics 电子枪（束流）系统通常包括一个匹配的电源，以提供完整的子系统，该子系统可以连接到用户的真空硬件并打开。
许多系统上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其宽范围内独立调节，并且可以使用可选的 Labview 进行控制TM计算机接口。
我们的大多数系统在真空条件下都兼容 UHV（超高真空），最高可达 10-11托。
根据系统的不同，可以使用各种阴极选项，包括：
Kimball Physics 的产品已经发展成为范围广泛的电子束系统，我们将其武断地描述为低能量（高达 5 keV）、中等能量（高达 30 keV）和高能量（高达 100 keV）系统。许多系统都是从定制项目中诞生的，这仍然是我们关注的很大一部分。
低能耗系统，能量范围为 1 eV 至 5 keV，电流范围为 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸为 0.5 mm 至 100 mm。
下表提供了电子枪系统规格以及每个低能电子枪系统的典型应用和功能的比较。
描述
能量扫描：恒定束流和近似恒定光斑尺寸的电子束
50 eV 至 5 keV
应用：
- 表面物理研究
- 电离实验
- 电荷中和
功能/选项：
能量范围：50 eV 至 5 keV
光束电流：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1 mm 至 10 mm
安装：2.75“CF
特点/选项：用于能量扫描、偏转、光栅、高速脉冲的变焦镜头聚焦
Kimball Physics EGL-2022 电子枪及其配套的 EGPS-2022 电源可应用于各种表面物理、电离、电荷中和和其他真空物理研究。它是一个完整的子系统，随时可以连接到用户的真空系统并启动。
光束能量、光束电流和光斑尺寸可在很宽的范围内独立调节。能量从 50 eV 到 5 keV 不等，束流从 1 nA 到 100 μA。通过使用多级和计算机设计的电子变焦镜头，在能量的两个数量级变化上保持恒定的束流，光斑尺寸也大致恒定。电子枪使用单电位阴极产生低能量扩散光束。
枪设计可以包括一个正偏置的加速度网格，以增强发射和准直光束。通常对此网格单元施加负电位，以准直光束、抑制发射并切断光束。
全程采用 UHV 技术。该喷枪可以在 10 级真空中运行-11torr 最多 10-5torr 用于标准 Ta 盘阴极。电子枪可在 350°C 下工作，无需电缆。
