美国Kimball Physics,电子枪系统,低能耗（最大 5 keV),EGA-1012 / EGPS-1012

美国Kimball Physics,电子枪系统,低能耗（最大 5 keV),EGA-1012 / EGPS-1012

Kimball Physics 电子枪（束流）系统通常包括一个匹配的电源，以提供完整的子系统，该子系统可以连接到用户的真空硬件并打开。

许多系统上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其宽范围内独立调节，并且可以使用可选的 Labview 进行控制^TM计算机接口。

我们的大多数系统在真空条件下都兼容 UHV（超高真空），最高可达 10^-11托。

根据系统的不同，可以使用各种阴极选项，包括：

1. 1. 氧化钡盘（BaO，低光，低能量扩散，最小真空度 1×10^-7托尔）
   2. 钇涂层铱片 （Y₂O₃铱，坚固耐用，真空度高达 10^-4Torr，可能在短暂的真空损失中幸存下来）
   3. 钽盘阴极
   4. 单晶六硼化镧 （LaB₆， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10^-7托尔）

Kimball Physics 的产品已经发展成为范围广泛的电子束系统，我们将其武断地描述为低能量（高达 5 keV）、中等能量（高达 30 keV）和高能量（高达 100 keV）系统。许多系统都是从定制项目中诞生的，这仍然是我们关注的很大一部分。

低能耗系统，能量范围为 1 eV 至 5 keV，电流范围为 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸为 0.5 mm 至 100 mm。

下表提供了电子枪系统规格以及每个低能电子枪系统的典型应用和功能的比较。

型号 #： EGA-1012 EGPS-1012

描述

大电流、中等直径、低能量电子束

5 eV 至 1000 eV

应用：

• 表面物理研究
• 真空物理实验
• 电荷中和
• 电子解吸
• 表面清理
• 荧光粉测试
• 电离实验
• 半导体加工

功能/选项：

• 光束电流高达 2mA
• Feedback Stabilized Emission Current
• 用户可更换的点火装置
• UHV 兼容 / 可烘烤
• 电脑 / 遥控器
• 光束脉冲选项

能量范围：5 eV 至 1k eV
光束电流：1 μA 至 2 mA
光斑尺寸：10 mm 至 25 mm（无聚焦能力）
安装：2.75“ CF
特点/选项：泛光光束、脉冲、双网格

Kimball Physics EGA-1012 电子枪及其配套的 EGPS-1012 电源，旨在用于各种超高真空 （UHV） 物理实验、表面物理和需要低能量高束流的加工应用。它是一个完整的子系统，随时可以连接和打开。光束能量、光束电流和光束发散度都是可独立调节的。EGA-1012 电子枪使用空间电荷受限的氧化物涂层阴极来产生均匀的泛光光束。这种设计允许产生低能量和极低电流的光束。

全程采用 UHV 技术。电子枪可在高达 350°C 的温度下烘烤，无需电缆。使用法拉第杯时，最大值为 65^oC 除非被删除。

标准阴极是一个大电流、坚固的钇涂层圆盘 （Y₂O₃).阴极在寒冷时不会因反复暴露在大气气体或水蒸气中而损坏。该喷枪可以在 10 级真空中运行^-11torr 到 10^-5托。阴极寿命是真空条件和束流与阴极温度相关的函数。在良好真空下，低电流下的阴极寿命可能长达数百小时，甚至超过一千小时。