美国Kimball Physics,电子枪系统,中等能量(最大 30 keV),EGL-2022 / EGPS-2022
Kimball Physics 是电子枪(束)系统的领先供应商,其设计适用于各种超高真空 (UHV) 表面物理、空间物理和加工应用。喷枪可以聚焦小光斑尺寸,用于 X 射线生产、焊接和 RHED 等应用;或用于泛光束,用于电荷中和、电子束擦洗、空间模拟和辐射损伤研究。
操作范围
- 能量范围:1 eV 至 100 keV
- 光束电流范围:1 nA 至 20 mA
- 光斑尺寸范围:15 μm(聚焦柱)至 500+ mm(泛光光束)
性能
- 束流稳定性:反馈稳定发射电流控制;优于每小时 ± 0.1%
- 能量稳定性:±每小时 0.01%,全输出时每 8 小时± 0.02%,以最大限度地减少色差
方便
- 客户可更换的点火装置
- 全运行期间的机械对中
- 可存储控件设置
- 电脑遥控器/计量
运营能力
描述
能量扫描:恒定束流和近似恒定光斑尺寸的电子束
50 eV 至 5 keV
应用:
- 表面物理研究
- 电离实验
- 电荷中和
功能/选项:
- 能量范围广
- Constant Beam Current
- 恒定光斑大小
- 变焦镜头对焦
- 高速脉冲
- 偏转、栅格化
- 电脑 / 遥控器
能量范围:50 eV 至 5 keV
光束电流:1 nA 至 100 μA
光斑尺寸:1 mm 至 10 mm
安装:2.75“CF
特点/选项:用于能量扫描、偏转、光栅、高速脉冲的变焦镜头聚焦
Kimball Physics EGL-2022 电子枪及其配套的 EGPS-2022 电源可应用于各种表面物理、电离、电荷中和和其他真空物理研究。它是一个完整的子系统,随时可以连接到用户的真空系统并启动。
光束能量、光束电流和光斑尺寸可在很宽的范围内独立调节。能量从 50 eV 到 5 keV 不等,束流从 1 nA 到 100 μA。通过使用多级和计算机设计的电子变焦镜头,在能量的两个数量级变化上保持恒定的束流,光斑尺寸也大致恒定。电子枪使用单电位阴极产生低能量扩散光束。
枪设计可以包括一个正偏置的加速度网格,以增强发射和准直光束。通常对此网格单元施加负电位,以准直光束、抑制发射并切断光束。
全程采用 UHV 技术。该喷枪可以在 10 级真空中运行-11torr 最多 10-5torr 用于标准 Ta 盘阴极。电子枪可在 350°C 下工作,无需电缆。
通过打开上方“资源”选项卡中的详细 EGL-2022/EGPS-2022 PDF 规范文档了解更多信息。